一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法

一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法--连云港东海富彩矿物制品公司

其特点是，将高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径为530mm，高度为1600mm；发热体钨棒直径为4.5mm，长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为235-245A，电压为20-21V；熔融温度为2200℃；所述成形器的直径为340-350mm；连熔炉的料台直径为365-375mm；连熔炉内芯杆的长度为1900mm。

连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法改善了生产工艺及设备中的多项技术参数，各技术参数之间相互关联、协同作用，提高了产品的质量与规格。